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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
這種雙軸數(shù)字水平儀（有線）是一種高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比，它可以通過數(shù)字方式顯示，便于現(xiàn)場調(diào)整。此外，顯示屏和水平儀通過線連接，因此可以遠(yuǎn)距離測量。由于重量輕便，可以在晶圓處理部件等敏感部位進(jìn)行測量。氣泡會顯示在顯示器屏幕上，你可以像看氣泡水平儀一樣進(jìn)行調(diào)整。由于它是數(shù)字顯示的，操作員讀取時不會有變化。使用SELN-011B，數(shù)據(jù)可以存儲在主機(jī)上，稍后用SD卡檢索，或者通過USB端口串行通信實時輸出數(shù)據(jù)并顯示到計算機(jī)上，便于存儲數(shù)據(jù)。
詳情介紹：
一、SELN-011B核心特點與優(yōu)勢
雙軸高精度測量：X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°（17.5μm/m），零點重復(fù)精度≤±0.001°，分辨率 0.0002°，能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜，避免單軸反復(fù)調(diào)整誤差，保障測量結(jié)果可靠。
雙軸同步高效調(diào)平：支持 X/Y 軸同時檢測與調(diào)整，大幅縮短作業(yè)工時，減少調(diào)整步驟，統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn)，降低人為誤差，提升批量設(shè)備調(diào)平的一致性。
狹窄空間適配強(qiáng)：傳感器尺寸僅 Φ50×19mm，含 SVS 底座重 70g，可輕松對垂直間距狹窄的零件進(jìn)行水平觀測，適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
數(shù)據(jù)存儲輸出便捷：具備角度數(shù)據(jù)文件存儲功能，支持 USB 實時外部輸出角度數(shù)據(jù)，方便后續(xù)數(shù)據(jù)追溯、分析與報表生成，適配自動化產(chǎn)線的質(zhì)量管控需求。
操作友好適配廣：4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏操作直觀，可像看氣泡水平儀般調(diào)整；能設(shè)置合格角度范圍，初學(xué)者也可快速上手，支持 μm/m、°、°′″等多單位切換，工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃，防塵抗電磁干擾，適配工業(yè)復(fù)雜環(huán)境。
機(jī)身輕巧便攜：主機(jī)尺寸約 96×35×145mm，重 280g，電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池，使用靈活，便于現(xiàn)場移動作業(yè)。
二、SELN-011B主要技術(shù)參數(shù)
測量核心：X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°，測量分辨率 0.0002°，零點重復(fù)精度≤±0.001°，響應(yīng)速度≤50ms，可快速捕捉傾斜變化。
數(shù)據(jù)處理與顯示：搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器，A/D 分辨率 0.000025°，顯示單位可切換 μm/m、角度（°、°′″），量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔，超量程（0.3° 及以上）會觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量：傳感器尺寸 Φ50×19mm，含 SVS 底座重 70g；主機(jī)尺寸約 96×35×145mm，重量 280g，便于狹小空間安裝與攜帶。
供電與環(huán)境：電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池，工作溫度 - 10℃至 + 50℃，適配工業(yè)常見工作環(huán)境，具備防塵與抗電磁干擾能力。
數(shù)據(jù)功能：支持角度數(shù)據(jù)存儲，可通過 USB 接口實時外部輸出數(shù)據(jù)，滿足數(shù)據(jù)記錄與追溯需求。
三、SELN-011B典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：用于光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、CMP 拋光平臺等設(shè)備的水平校準(zhǔn)，保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率，數(shù)據(jù)存儲功能便于設(shè)備維護(hù)與歷史數(shù)據(jù)追溯。
精密加工設(shè)備：適配五軸加工中心、坐標(biāo)測量機(jī)、光學(xué)平臺等，校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度，保障加工精度，數(shù)據(jù)輸出可輔助設(shè)備狀態(tài)分析與預(yù)防性維護(hù)。
自動化產(chǎn)線與機(jī)器人：用于機(jī)器人關(guān)節(jié)、機(jī)械臂安裝基座的水平校準(zhǔn)，適配狹小安裝空間，配合數(shù)據(jù)輸出功能，可實現(xiàn)產(chǎn)線設(shè)備水平狀態(tài)的批量監(jiān)控與質(zhì)量管控。
特種設(shè)備安裝與維護(hù)：如風(fēng)力發(fā)電機(jī)組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試，通過數(shù)據(jù)存儲記錄安裝時的水平數(shù)據(jù)，便于后續(xù)維護(hù)對比，保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
精密儀器質(zhì)檢：適用于各類精密檢測儀器的出廠水平校準(zhǔn)與定期校驗，數(shù)據(jù)存儲可留存質(zhì)檢記錄，滿足行業(yè)質(zhì)量認(rèn)證要求。
四、SELN-011B操作流程簡述
準(zhǔn)備工作：選擇 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池供電，將傳感器通過有線連接主機(jī)，安裝 SVS 底座并平穩(wěn)放置在待測量基準(zhǔn)面，確保接觸面清潔無異物，避免影響測量精度。
設(shè)備初始化：開機(jī)后進(jìn)入主界面，完成零點校準(zhǔn)（將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺，長按零點校準(zhǔn)鍵，待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)），切換顯示單位與量程檔位，設(shè)置合格角度范圍參數(shù)，開啟數(shù)據(jù)存儲或輸出功能。
水平測量與調(diào)整：觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數(shù)據(jù)，同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu)，直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi)，期間實時查看數(shù)據(jù)變化，避免過度調(diào)整。
雙軸高精度測量：X/Y 軸角度精度達(dá) ±0.001°（17.5μm/m），零點重復(fù)精度≤±0.001°，分辨率 0.0002°，能精準(zhǔn)捕捉微小傾斜，避免單軸反復(fù)調(diào)整誤差，保障測量結(jié)果可靠。
雙軸同步高效調(diào)平：支持 X/Y 軸同時檢測與調(diào)整，大幅縮短作業(yè)工時，減少調(diào)整步驟，統(tǒng)一作業(yè)者操作標(biāo)準(zhǔn)，降低人為誤差，提升批量設(shè)備調(diào)平的一致性。
狹窄空間適配強(qiáng)：傳感器尺寸僅 Φ50×19mm，含 SVS 底座重 70g，可輕松對垂直間距狹窄的零件進(jìn)行水平觀測，適配各類精密設(shè)備的復(fù)雜安裝環(huán)境。
數(shù)據(jù)存儲輸出便捷：具備角度數(shù)據(jù)文件存儲功能，支持 USB 實時外部輸出角度數(shù)據(jù)，方便后續(xù)數(shù)據(jù)追溯、分析與報表生成，適配自動化產(chǎn)線的質(zhì)量管控需求。
操作友好適配廣：4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏操作直觀，可像看氣泡水平儀般調(diào)整；能設(shè)置合格角度范圍，初學(xué)者也可快速上手，支持 μm/m、°、°′″等多單位切換，工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃，防塵抗電磁干擾，適配工業(yè)復(fù)雜環(huán)境。
機(jī)身輕巧便攜：主機(jī)尺寸約 96×35×145mm，重 280g，電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池，使用靈活，便于現(xiàn)場移動作業(yè)。
二、SELN-011B主要技術(shù)參數(shù)
測量核心：X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°，測量分辨率 0.0002°，零點重復(fù)精度≤±0.001°，響應(yīng)速度≤50ms，可快速捕捉傾斜變化。
數(shù)據(jù)處理與顯示：搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉(zhuǎn)換器，A/D 分辨率 0.000025°，顯示單位可切換 μm/m、角度（°、°′″），量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔，超量程（0.3° 及以上）會觸發(fā) OVER 顯示。
尺寸與重量：傳感器尺寸 Φ50×19mm，含 SVS 底座重 70g；主機(jī)尺寸約 96×35×145mm，重量 280g，便于狹小空間安裝與攜帶。
供電與環(huán)境：電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池，工作溫度 - 10℃至 + 50℃，適配工業(yè)常見工作環(huán)境，具備防塵與抗電磁干擾能力。
數(shù)據(jù)功能：支持角度數(shù)據(jù)存儲，可通過 USB 接口實時外部輸出數(shù)據(jù)，滿足數(shù)據(jù)記錄與追溯需求。
三、SELN-011B典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域：用于光刻機(jī)、晶圓鍵合機(jī)、CMP 拋光平臺等設(shè)備的水平校準(zhǔn)，保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率，數(shù)據(jù)存儲功能便于設(shè)備維護(hù)與歷史數(shù)據(jù)追溯。
精密加工設(shè)備：適配五軸加工中心、坐標(biāo)測量機(jī)、光學(xué)平臺等，校準(zhǔn)基準(zhǔn)面水平度，保障加工精度，數(shù)據(jù)輸出可輔助設(shè)備狀態(tài)分析與預(yù)防性維護(hù)。
自動化產(chǎn)線與機(jī)器人：用于機(jī)器人關(guān)節(jié)、機(jī)械臂安裝基座的水平校準(zhǔn)，適配狹小安裝空間，配合數(shù)據(jù)輸出功能，可實現(xiàn)產(chǎn)線設(shè)備水平狀態(tài)的批量監(jiān)控與質(zhì)量管控。
特種設(shè)備安裝與維護(hù)：如風(fēng)力發(fā)電機(jī)組、衛(wèi)星接收天線、大型精密儀器的安裝調(diào)試，通過數(shù)據(jù)存儲記錄安裝時的水平數(shù)據(jù)，便于后續(xù)維護(hù)對比，保障設(shè)備長期穩(wěn)定運行。
精密儀器質(zhì)檢：適用于各類精密檢測儀器的出廠水平校準(zhǔn)與定期校驗，數(shù)據(jù)存儲可留存質(zhì)檢記錄，滿足行業(yè)質(zhì)量認(rèn)證要求。
四、SELN-011B操作流程簡述
準(zhǔn)備工作：選擇 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節(jié) AA 電池供電，將傳感器通過有線連接主機(jī)，安裝 SVS 底座并平穩(wěn)放置在待測量基準(zhǔn)面，確保接觸面清潔無異物，避免影響測量精度。
設(shè)備初始化：開機(jī)后進(jìn)入主界面，完成零點校準(zhǔn)（將傳感器置于標(biāo)準(zhǔn)水平臺，長按零點校準(zhǔn)鍵，待數(shù)值穩(wěn)定后確認(rèn)），切換顯示單位與量程檔位，設(shè)置合格角度范圍參數(shù)，開啟數(shù)據(jù)存儲或輸出功能。
水平測量與調(diào)整：觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數(shù)據(jù)，同步調(diào)節(jié)待校準(zhǔn)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu)，直至數(shù)值處于合格范圍內(nèi)，期間實時查看數(shù)據(jù)變化，避免過度調(diào)整。
數(shù)據(jù)記錄與收尾：測量達(dá)標(biāo)后，通過 USB 接口導(dǎo)出數(shù)據(jù)用于追溯；測量結(jié)束后關(guān)機(jī)，取下傳感器與主機(jī)，做好清潔收納，長期不用時取出電池，避免設(shè)備損壞。
監(jiān)控詳情
規(guī)格
| 物品 | 目錄 | |
|---|---|---|
| 傳感器部門 | 線性 - 角度 | X方向±0.3度Y，±0.3度 |
| 測量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點重復(fù)性 | ±小于0.001度 | |
| 響應(yīng)速度 | 不到50毫秒 | |
| 服務(wù)溫度 | -10°C~+50°C | |
| 身體部位 | 微控制器 | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D 分辨率 | 0.000025 deg | |
| 展示單元 | 0.0001 度 | |
| 傳球范圍設(shè)定范圍 | 0.0001 度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| OVER 表示 | 0.3度或更高 | |
| 特色 | 傳感器連接數(shù)量 | 1 ch |
| 展示部門 | 4.3英寸彩色LCD觸摸面板 | |
| 480×272個點 | ||
| 測量數(shù)據(jù) | 保存到文件 | |
| （*多15個文件，120分/文件） | ||
| 外部數(shù)據(jù)輸出功能（SELN-011B→microSD） | ||
| 實時輸出USB | ||
| 電源 | 專用交流適配器 DC6V/2A | |
| 4節(jié)AA電池（1.5伏） | ||
| 尺寸 | 監(jiān)視器 | W96×D35×H145毫米 |
| 傳感器（基于 SUS） | φ50×H19 mm | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4節(jié)AA電池（1.5伏） | |
| 專用交流適配器 DC6V/2A | ||
| 說明書 | ||
| 保修卡 |